




電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來(lái)源于:1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過(guò)程中引入的微量金屬雜質(zhì);2) 氣體運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì);3) 使用過(guò)程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過(guò)分離進(jìn)行排除,才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而,目前一般的過(guò)濾器的孔徑1小為0.2 μm,無(wú)法完全消除金屬雜質(zhì)。因此,建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測(cè)方法,特種氣體銷售,對(duì)高純氣體的生產(chǎn)、儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,特種氣體廠家哪家好,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場(chǎng)依然是國(guó)內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。

電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過(guò)程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,因?yàn)樗鼈円蟪兂瑑簦掖蟛糠钟卸靖蛘咭兹嫉刃再|(zhì)。對(duì)雜質(zhì)的要求,西安特種氣體,氣體圈子任路先生這樣說(shuō)道,1個(gè)PPB的SPEC要求,相當(dāng)于對(duì)雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個(gè)足球場(chǎng)的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個(gè)shai子(1cm長(zhǎng)寬高的)雜質(zhì)!

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